Skenovací elektrónový mikroskop (SEM) je mikroskop s veľmi vysokým rozlíšením, ktorý vám umožňuje vidieť malé veci veľmi detailne. Toto je rýchly prehľad o tom, ako pomocou jedného nasnímať fotografiu. Majte na pamäti, že SEM je veľmi chúlostivé zariadenie a malo by sa s ním pracovať veľmi opatrne. Dodržiavanie týchto krokov však takmer zaručí, že mikroskop nepoškodíte. Existuje aj mnoho ďalších funkcií, o ktorých sa v tomto článku nehovorí, ale tento postup popisuje, ako získať základný obraz.
Tento článok poskytuje konkrétne pokyny pre mikroskop JEOL JSM-6010LA. Každý mikroskop JEOL bude mať mimoriadne podobné ovládanie ako mikroskop popísaný v týchto pokynoch. Mikroskopy Hitachi budú tiež veľmi podobné, ale iné značky, ako napríklad Zeiss, môžu mať ovládacie gombíky na rôznych miestach.
Kroky
Krok 1. Získajte pripravenú vzorku
Príprava vzorky na elektrónovú mikroskopiu je sama o sebe veľmi hĺbkovým postupom, preto na tento postup použite vzorku, ktorá bola pre vás pripravená. Ak je vzorka pripravená na SEM, bude musieť mať primeranú veľkosť a tiež bude musieť mať vodivý povrch. Keďže vzorka už bola pripravená, tento článok bude predpokladať, že spĺňa tieto kvalifikácie.
Krok 2. Priveďte SEM na atmosférický tlak, aby sa otvorili dvierka na vzorku
Pochopte, že SEM bude vždy zapnutý a vzorková komora bude vždy pod vákuom. To znamená, že komora bude úplne prázdna od všetkých molekúl plynu, takže elektróny budú mať jasnú cestu k vzorke. Stlačte a podržte tlačidlo VENTILOVAŤ, kým nezačne blikať a nebudete počuť kliknutie. Tlačidlo VENT bude naďalej blikať, kým sa prostredie v komore nezvýši na atmosférický tlak. Akonáhle je tlačidlo VENT oranžové, znamená to, že v komore je atmosférický tlak a môžete otvoriť dvere.
Krok 3. Nasaďte si rukavice
To je mimoriadne dôležité, pretože komora SEM musí zostať veľmi čistá!
- Pomocou kľučiek na oboch stranách dverí pomaly vysuňte dvere.
- Akonáhle sú dvierka otvorené, opatrne uchopte držiak vzorky a posuňte ho doprava. Uvoľní sa z drážok a teraz môžete naložiť svoju vzorku.
- V každom zo štyroch rohov držiaka vzorky sú dve nastavovacie skrutky, ktoré držia vzorku na mieste. Tieto skrutky mierne uvoľnite (mala by stačiť polovica otáčky skrutkovača) a potom vyberte prázdnu vzorku z držiaka.
- Prázdnu vzorku môžete zatiaľ odložiť, ale určite ju položte na Kimwipe a nie priamo na stôl alebo stôl. Vložte svoju vzorku do držiaka a potom utiahnite skrutky.
- Keď je vzorka na mieste, pokračujte a zasuňte držiak vzorky späť do drážok na stolíku vzorky.
- Teraz môžete dvere zavrieť zatlačením dverí späť do komory.
Krok 4. Podržte dvierka zatvorené a stlačte a podržte tlačidlo EVAC, kým nezačne blikať, aby sa komora vrátila do vákua
Budete počuť cvakanie, potom asi po minúte počujete otáčanie turbíny čerpadla. Tieto čerpadlá odstránia všetky plynné častice z komory a zvýšia vnútorný tlak na približne 10^-6 torr. Keď tlačidlo EVAC svieti na zeleno, znamená to, že komora je vo vákuu. Teraz počkajte ďalších 5 minút a potom pokračujte ďalším krokom.
Krok 5. Po uplynutí 5 minút ste pripravení zapnúť elektrónový lúč a začať fotografovať
- Prejdite na počítač SEM a softvér mikroskopu by mal byť zapnutý. Zelené tlačidlo v pravom hornom rohu obrazovky zobrazí VYPNUTÉ, čo znamená, že elektrónový lúč je vypnutý. Kliknutím naň lúč zapnete a potom sa zapne.
- Potom kliknite na tlačidlo ACB (automatický kontrast a jas) a vaša vzorka by sa mala zobraziť.
- Pomocou ovládača zväčšenia na ovládacom paneli priblížte požadované zväčšenie. Je dobré zaostrovať na väčšie zväčšenie, ako chcete pre svoj obrázok, preto bude váš obrázok vyzerať lepšie, ak ho oddialite. Ak napríklad chcete obrázok 2 500 ×, môžete zaostriť približne 4 000 ×.
- Hneď ako sa priblížite, pomocou zaostrovacieho gombíka zaostrite na svoj obrázok.
Krok 6. Upravte výšku vzorky
Teraz je vaša vzorka zaostrená, ale môžete si všimnúť, že nevyzerá tak dobre, ako by ste očakávali.
- Pod obrázkom vašej vzorky na obrazovke počítača uvidíte pracovnú vzdialenosť uvedenú ako „WD x mm“, kde x je číslo obvykle okolo 10-20. Všimnite si toto číslo.
- Ak chcete získať dobré obrázky, možno budete chcieť použiť pracovnú vzdialenosť 10 mm. To znamená, že lúč je zaostrený 10 mm od objektívu. Ak chcete nastaviť pracovnú vzdialenosť, kliknite na „WD x mm“a zobrazí sa posúvač, ktorý vám umožní zmeniť akékoľvek číslo x na 10. Pokračujte a kliknite na 10.
- V súčasnosti je výška vzorky Z = 25 mm. Na zmenu výšky vzorky použijete gombík Z. Táto časť môže byť náročná. Nech bola pôvodná pracovná vzdialenosť akákoľvek, odpočítajte 10 od a je to toľko, koľko budete potrebovať na posunutie svojho Z-gombíka. Napríklad, ak bol váš WD 16 mm a zmenili ste ho na 10 mm, budete musieť posunúť gombík Z približne o 6 mm. Takže to otočíte asi na 19 mm.
- Kým otáčate gombíkom Z, sledujte obrazovku, pretože začne byť zaostrená. Akonáhle je zaostrený, váš obrázok je pripravený!
Krok 7. Odzoomujte späť na požadované zväčšenie a ak sa chcete presunúť do inej oblasti svojej vzorky, môžete použiť gombíky X a Y
Môžete tiež nastaviť kontrast a jas podľa svojich predstáv. Keď nájdete oblasť, ktorá sa vám páči, odfoťte ju kliknutím na ikonu fotoaparátu s názvom „ULOŽIŤ“. Otvorí sa dialógové okno, ktoré vám umožní uložiť súbor s obrázkom. Súbor môžete pomenovať podľa vlastného výberu a uložiť ho v ľubovoľnom priečinku v počítači alebo na jednotke flash.
Krok 8. Vypnite elektrónový lúč kliknutím na zelené tlačidlo, ktoré hovorí „ZAPNUTÉ“v pravom hornom rohu
Pred pokračovaním sa uistite, že je uvedené „VYPNUTÉ“. Otočte gombíky X, Y a Z tak, aby každá hodnota bola 25 mm. Teraz stlačte a podržte tlačidlo VENT, kým nezačne blikať, aby sa komora na vzorky vrátila na atmosférický tlak.
Krok 9. Otvorte komoru na vzorky, akonáhle bude tlačidlo VENT (VENT) trvalo oranžové
Akonáhle vyberiete svoju vzorku z držiaka, vložte prázdnu vzorku späť do držiaka a zasuňte ju späť do štádia vzorky. Posuňte dvere späť do zatvorenej polohy. Nakoniec stlačte a podržte tlačidlo EVAC, kým nezačne blikať. NIKDY nenechávajte komoru SEM odvetranú, mohlo by dôjsť k poškodeniu vnútorných častí. Hneď ako tlačidlo EVAC svieti nazeleno, uložíte ho a opustíte SEM.
Varovania
- Pri dotyku s čímkoľvek, čo sa dostane do komory na vzorky, je veľmi dôležité používať rukavice!
- Nikdy nechajte komoru SEM odvetranú. Ak opustíte SEM, uistite sa, že tlačidlo EVAC svieti neprerušovane nazeleno.
- Ak vaša vzorka nebola pripravená špeciálne na SEM, nedávajte ju do mikroskopu! Niektoré vzorky sa jednoducho nezobrazia dobre, ale iné môžu skutočne poškodiť vnútorné časti.
